2.生產設備之防塵措施：
　　a.磨損、切削均為發生微塵之原因，故需將發塵部分掩蓋之。
　　b.易產生塵埃之設備，若能的話應布置于風尾地點。
　　c.在操作時，盡量減少接觸零件或產品。
　　d.不得有太大或不必要的操作動作，以免卷起附近之灰塵。
　　e.各項廠務設施之供應如水、氣體和化學品于進入生產設備前應有過濾設備。

　　f.為不使氣體或液體滯留，造成微污染，故管路配置應有旁路閥之設置。

　3.自動化與無塵化：
　　a.設立自動化傳送系統，可減少人員方面所帶來的污染，唯費用相當昂貴，須詳加評估。
　　b.建立管制項目如進入無塵室人員的資格限定，無塵室作業人員作業規則，無塵室管理規則等。